SOI500系列全自动光学缺陷检测设备


SOI500

SOI500系列全自动光学缺陷检测设备可以自动扫描晶圆的表面图形,自动识别其中的缺陷并且将找到的缺陷加以分类。它可以极大程度地提高晶圆制造过程中的工艺控制能力。该类设备正在被前道芯片制造、先进芯片封装等集成电路制造商越来越广泛地采用。
  产品特征

出色的残胶检测功能

特有的光学系统可提高图像对比度,有助于识别残胶、金属残留或其他低对比度缺陷。

离线软件

离线软件可供技术人员方便地对缺陷进行确认和分类。

丰富的成像照明系统

该系统具备丰富的成像照明配置:物镜凸轮包含5个卡槽,可预装1X、2X、3.5X、5X、10X、20X、50X或100X等倍率的物镜,可切换明暗场,可调整照明光强等。

支持多种工况

可支持4寸、6寸、8寸以及12寸大翘曲硅片,支持Cassette、FOUP以及SMIF等多种物料接口。

超大扫描视场

自主开发超大扫描视场镜头,分辨率可达到0.5μm,显著提升了检测效率。

低成本

高效的全自动硅片传输系统、大行程高速工件台确保高效率生产,有效降低用户的运营成本。

智能检测

先进的自动智能检测软件,能够高效识别低对比度及复杂背景下的微小缺陷,保证有高检出率和低误检率。
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